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JANDEL探頭KLA CDE ResMap介紹詳情
瀏覽次數(shù)：806發(fā)布日期：2023-01-18

Jandel成立于 1967 年，為自動(dòng)化工具制造探頭探針，還為半導(dǎo)體行業(yè)以及大學(xué)、實(shí)驗(yàn)室工作和研究應(yīng)用制造簡(jiǎn)單的臺(tái)式電阻率測(cè)量設(shè)備。起初生產(chǎn)產(chǎn)品是電解濕度計(jì)電池，采用螺旋切割石英成型器雙線纏繞，直徑為 0.05 毫米的鉑絲，至今仍在生產(chǎn)和銷售相同的產(chǎn)品。多年來，通過不斷地發(fā)展創(chuàng)新，提高產(chǎn)品質(zhì)量及性能，積累了豐富的設(shè)計(jì)開發(fā)經(jīng)驗(yàn)，可以為客戶提供滿意的產(chǎn)品及服務(wù)。


主要產(chǎn)品：

探頭、探針、手動(dòng)探針臺(tái)、電阻率測(cè)量設(shè)備、電解濕度計(jì)電池


主要型號(hào)：

KLA、CDE ResMap、AIT、Napson、Veeco、Alessi

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KLA帶有 6 路連接器探頭與CDE工具制造的探頭非常相似，但探頭頭不可互換，因此應(yīng)格外小心，尤其是當(dāng)兩個(gè)系統(tǒng)都在現(xiàn)場(chǎng)使用時(shí)。CDE兼容探頭具有特的黑色物鏡轉(zhuǎn)換器。所有 Jandel 探頭都具有高水平的機(jī)械精度。通過視頻檢測(cè)系統(tǒng)和光學(xué)干涉儀驗(yàn)證半徑、間距和平面度的規(guī)格。負(fù)載由電子測(cè)力計(jì)驗(yàn)證。

性能特點(diǎn)

  • 高性能

技術(shù)參數(shù)

  • 探頭間距：0.500mm，0.635mm，1.00mm，1.016mm，1.27mm，1.591mm（針至針頭）

  • 公差：+/- 10微米

  • 布置：線性或方陣列

  • 針頭：碳化鎢直徑為0.4mm（直徑為0.3mm的距離間距）

  • 針頭選項(xiàng)：50％osmium合金提示可用

  • 半徑：12.5、25、40、100、150、200、300、500微米

  • 縮放到墊子：0.5毫米

  • 平面性：+/- 0.025mm或更好

  • 負(fù)載：固定在10克和250克之間

  • 電氣泄漏：500伏特的針之間的1013歐姆電阻